E2103
チップを装着できない
作業時間10分
難易度★☆☆
チップを装着できない
チェックポイント
チェックポイント
チップセット状態の確認
STEP.1 エラーを解除してチップケースを取りだす
セットしたチップがそのままチップケースに残っている場合はSTEP2に進みます。チップケースにも廃棄トレイにも残っていない場合STEP3に進みます
STEP.2 チップケース確認後に再測定する
STEP.3 装置内のチップ残り確認
チェックポイント
ノズルの清掃
STEP.1 メンテナンス操作を行う①
STEP.2 メンテナンス操作を行う②
STEP.3 ノズルをメンテナンス位置まで移動する
STEP.4 ノズルOリングを清掃する
チェックポイント
ノズルの交換
STEP.1 必要部材を準備する
STEP.2 メンテナンス操作を行う①
STEP.3 メンテナンス操作を行う②
STEP.4 ノズルを取り外す①
STEP.5 ノズルを取り外す②
STEP.6 ノズルを交換する①
STEP.7 ノズルを交換する②
STEP.8 ノズルを装置に取り付ける
STEP.9 測定を行う
管理番号:AIC251117-08A